Валюхов Д. П., Пигулев Р. В., Сидоров К. И., Тарала В. А., Титаренко А.А., Шевченко М.Ю.
КРС-АНАЛИЗ ПЛЕНОК АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА
Северо-Кавказский Федеральный Университет, Ставрополь, Кулакова 2/2, 355000
Valuhov D. P., Pigulev R. V., Sidorov K. I., Tarala V.A., Titarenko А.А., Shevchenko M.Yu.
RAMAN INVESTIGATION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILMS
North Caucasus federal university, Stavropol, av. Kulakova 2/2, 355000
В данной работе представлен анализ результатов исследования пленок алмазоподобного углерода, синтезированных методами плазмохимического осаждения из углеводородных источников: метана (СН4) и этана (С2Н6). Для исследования влияния условий синтеза на структуру и состав аморфных пленок углерода был применен анализ спектров комбинационного рассеяния света.
Ключевые слова: аморфный гидрогенезированный углерод, спектры комбинационного рассеяния света, кластеры углерода, степень кристалличности, микрокристаллический, нанокристаллический, ультрананокристаллический, аморфный, потенциал самосмещения.
This paper presents the results of experimental deposition of diamond-like carbon films synthesized by plasma-chemical method from two hydrocarbons: methane (CH4) and ethane (C2H6).Raman spectroscopy was used to study the effect of synthesis conditions on the film structure and composition.
Key words: amorphous hydrogenated carbon, Raman spectra, carbon clusters, the degree of crystallinity, microcrystalline, nanocrystalline, ultrananocrystalline, amorphous, substrate bias.