УДК 621.382-027.31
Кураедов Никита Иванович,,,,,,
ЭКВИВАЛЕНТНАЯ ШУМУ РАЗНОСТЬ ТЕМПЕРАТУР ТЕРМОПАРНЫХ ИНФРАКРАСНЫХ КМОП-СЕНСОРОВ
Kuraedov Nikita Ivanovich
NOISE EQUIVALENT TEMPERATURE DIFFERENCE OF A THERMOCOUPLE INFRARED SENSOR CMOS
Аннотация. В работе рассматриваются процессы оптимизации параметров чувствительных термопарных МЭМС-сенсоров на основе КМОП технологии.
Ключевые слова: микроэлектромеханическая система (МЭМС), приемник инфракрасного (ИК) изображения, ИК МЭМС-сенсор
Abstract. The work deals with the optimization of the parameters of the sensitive thermocouple MEMS sensors based on CMOS technology.
Keywords: microelectromechanical system (MEMS), receiver infrared (IR) image, IR MEMS sensor