УДК 621.315.592
1Реков Ю. В., 2Червоный И. Ф., 2ЕгоровС. Г., 2Воляр Р. Н.
ОСОБЕННОСТИ ГИДРОХЛОРИРОВАНИЯ ТЕХНИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
ЧАО «Завод полупроводников», г. Запорожье
Запорожская государственная инженерная академия, г. Запорожье
Выполнен термодинамический анализ реакций, протекающих в процессе гидрохлорирования технического кремния. Показано, что наибольший интерес представляет использование каталитических реакций, которые способны значительно повысить эффективность процесса гидрохлорирования технического кремния.
Ключевые слова: Поликристаллический кремний, хлорирование, трихлорсилан.
The thermodynamic analysis of the reactions proceeding in the course of a hydrochlorination of technical silicon is made. It is shown that the greatest interest represents use of catalytic reactions which are capable to raise considerably efficiency of process of a hydrochlorination of technical silicon.
Keywords: Polycrystalline silicon, chlorination, trichlorosilane
Для производства монокристаллического кремния для нужд электроники, электротехники и альтернативной солнечной электроэнергетики используется поликристаллический кремний. Технологический цикл производства поликристаллического кремния состоит из ряда последовательных операций, которые обеспечивают необходимую степень чистоты материала [1].