Рассмотрено влияние величины разрядного тока на Аl мишени на химический и фазовый состав, микроструктуру, физико-механические и трибологические свойства износостойких пленок на основе Ti1-xAlxN, формируемых импульсным магнетронным распылением. Оптимизирован процесс получения нанокристаллических пленок на основе Ti1-xAlxN по величине разрядного тока на Аl мишени.
Ключевые слова: импульсное магнетронное распыление, разрядный ток на мишени, фазовый состав, микроструктура, физико-механические свойства, трибологические свойства.
The effect of the discharge current on the Al target on the chemical composition, phase composition, microstructure, physico-mechanical properties and tribological properties of films based on Ti1-xAlxN, formed by pulsed magnetron sputtering has been investigated. Process for nanocrystalline films based on Ti1-xAlxN on discharge current on the Al target has been optimized.
Key words: the pulsed magnetron sputtering, the current on the Al target, phase composition, chemical composition, microstructure, physico-mechanical properties, tribological properties.
* Работа выполнена в рамках гранта «Разработка технологии получения высокопрочных наноструктурных конструкционных низкоуглеродистых сталей с износостойкими наноструктурированными покрытиями» (госконтракт № 01201274914, Федеральная целевая программа «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы по направлению «Поддержка научных исследований, проводимых научными группами под руководством кандидатов наук по научному направлению «Индустрия наносистем» в области «Получение и обработка функциональных наноматериалов»