УДК 621.383
Майоров А.С.
ИНТЕГРАЦИЯ ФОТОДИОДОВ В МАРШРУТ КМОП ИС
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
В данном докладе рассматривается метод интеграции фоточувствительных приборов в маршрут КМОП ИС при помощи приборно-технологического моделирования. Показано, что внедрение возможно без внесения изменений в маршрут ИС, используя только комбинации использующихся фотошаблонов.
Ключевые слова: КМОП, оптоэлектроника, моделирование, TCAD