УДК621.375.826
Жариков В.М.
РАЗМЕРНАЯ ОБРАБОТКА ПОЛИКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛАСТИН В ПРОИЗВОДСТВЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ИЗДЕЛИЙ.
НИТУ «МИСиС»
Аннотация. Обосновывается целесообразность обработки наиболее перспективных материалов электронной техники (алмазов, керметов ,пиролитического графита) излучением лазера на парах меди. Приводятся отдельные примеры такой обработки и характеристики процесса.
Ключевые слова: лазер, поликристаллический, алмаз, обработка,
Введение.
Специалисты Научно-исследовательской лаборатории ВМС США (NRL) проанализировали новые материалы и технологии, с которыми связано развитие вакуумной электроники в 21 веке [1]. Три направления связаны с использованием материалов на основе алмаза, керамических СВЧ-поглотителей и пиролитического графита. Все эти материалы с успехом могут обрабатываться и обрабатывались в разное время автором излучением лазера на парах меди. Разработка технологии размерной обработки поликристаллических пластин из искусственного алмаза, полученных осаждением из газовой фазы, является крайне актуальной задачей. Исследованию возможности разработки такой технологии и посвящена данная работа.