УДК 537.622, 539.5
Макуха З.Н., Сынашенко О.В., Литвиненко Я.Н., Шабельник Ю.М., Проценко И.Е.
ТЕНЗО- И МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЕ СВОЙСТВА ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ Ag/Co И NiхFe1–х
Сумской государственный университет
В работе рассматриваются результаты экспериментальных исследований тензо- и магниторезистивного эффектов в тонкопленочных образцах Ag/П и системах на их основе Ag/Co/П, а также в NiхFe1–х, которые являются чувствительными элементами тензодатчиков, датчиков магнитного поля, угла поворота и др. Приведены размерные зависимости указанных эффектов в зависимости от толщины однослойных пленок и компонент многослойных систем. Обсуждение полученных результатов приводится в соответствии с данными структурно-фазового состояния пленочных образцов.
Ключевые слова: пленочная система, чувствительный элемент датчика, тензоэффект, анизотропия магнитосопротивления, размерная зависимость, структурно-фазовое состояние