УДК 539.3
Максимов П.В.
О способе задания диссипативных характеристик динамической MEMS-системы
ФГБОУ ВПО «Пермский национальный исследовательский политехнический университет», Россия
Для описания диссипативных свойств динамической MEMS-системы предлагается использовать подход Рэлея. Параметры диссипативной модели могут задаваться исходя из известных данных о поле перемещений подвижных элементов системы, совершающих установившиеся вынужденные колебания.
Ключевые слова: MEMS-системы, динамика, диссипация, демпфирование, вынужденные колебания, численные методы.