Аннотация. В данной работе приведены результаты рентгеноструктурного и элементного анализа катодного материала LiNixMnyCozO2 (NMC) на основных этапах технологического процесса начиная с изготовления мишени, до окончательного отжига катодной пленки. Результаты рентге
Ключевые слова: технология, катод NMC, рентгеноструктурный анализ, элементный анализ, твердотельные тонкопленочные литий ионные аккумуляторы.
Abstract. The results of X-ray diffraction and elemental analysis of the cathode material LiNixMnyCozO2 (NMC) at the main stages of the process from the manufacture of the target to the final annealing of the cathode film are presented. The results of X-ray diffrac
Keywords: technology, NMC cathode, X-ray diffraction analysis, elemental analysis, All-Solid-State thin-film lithium-ion batteries.